探针，在电子测量里是基础工具，其定位精度会直接对测试结果的可靠性产生影响。好多人觉得只要把探针放置上去就可以了，然而在实际操作期间，怎样精确地找到并且稳定地落……
探针，在电子测量里是基础工具，其定位精度会直接对测试结果的可靠性产生影响。好多人觉得只要把探针放置上去就可以了，然而在实际操作期间，怎样精确地找到并且稳定地落到被测点上，常常决定了整个实验或者生产的成功与否。
探针定位为什么总是不准
探针定位不准确，一般并非由单一因素所致。机械臂重复定位精度会带来误差，显微镜的视觉误差会造成影响，被测物体的表面形貌会引入偏差，就连环境温度变化也会导致出现误差。举例而言，在晶圆测试里，焊盘尺寸或许仅有几十微米，稍微有一点振动，便会致使探针出现滑落情况。众多人忽视了探针自身的针尖磨损问题，使用过几十次之后，针尖形状发生了改变，原本的坐标自然而然就不准确了。
怎么保证探针首次定位就精准
关键在于建立可靠基准坐标系，这是首次定位的要点，要找三个以上特征点作参考，这些点最好有清晰边缘和固定几何特征，视觉系统捕捉到这些点后，通过算法算出，它们与实际机械坐标得对应关系，容易出错的是光轴垂直度问题，要是相机光轴不垂直于被测面，所看到坐标就会失真，调平步骤虽繁琐，却能避免后续大量偏差。
哪种定位方法适合我的场景
要根据你的具体需求来挑选相应方法，若你进行的是高频电路测试，一旦探针位置出现些许偏差，寄生参数便会有所改变，在这种情况下应当采用视觉引导与激光测距的组合方式，先粗略定位然后精细调节。要是针对半导体晶圆量产测试，优先考虑效率，那么预先示教的坐标与自动搜索功能就较为适宜，探针先迅速移动至目标附近，随后借着检测接触信号进行细微调整。若采取手动操作，运用显微镜和微操作器是最为实际的，关键之处在于手部要保持稳定。
排除定位误差的实用步骤
当察觉到定位存在不准确情况之时，切不可毫无头绪地去调整坐标。首先要去查看针尖是否粘附了异物，请借助显微镜来审视针尖的状态。其次要对绝缘性展开测试，以此来排除漏电所造成的干扰。然后要开展简单的重复性的测试，让探针不断地去接触同一个点位，仔细观察坐标的偏移量。要是每一次的偏差基本相近，那么有可能是机械间隙尚未消除，此时需要对归零位置予以调整。要是偏差呈随机状，很大程度上是振动或者环境干扰所致，那就必须检查台面的稳定性以及接地情况。
于你平常测试期间，最为头疼的探针定位方面的问题究竟是什么呢？欢迎于评论区域展开交流探讨，并且还请将这篇具备实用性的干货内容分享给身旁从事测试工作的友人。
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